利用GaN材料,还可以制备紫外(UV)光探测器,它在火焰传感、臭氧检测、激光探测器等方面具有广泛的应用。此外,在电子器件方面,利用GaN材料,可以制备高频、大功率电子器件,有望在航空航天、高温辐射环境、雷达与通信等方面发挥重要作用。例如在航空航天领域,高性能的军事飞行装备需要能够在高温下工作的传感器、电子控制系统以及功率电子器件等,以提高飞行的可靠性,GaN基电子器件将起着重要作用,此外由于它在高温工作时无需制冷器而大大简化电子系统,减轻飞行重量。

磷化铟InP

磷化铟是继硅和砷化镓之后又一重要的Ⅲ一V族化合物半导体材料,几乎在与锗、硅等第一代元素半导体材料的发展和研究的同时,科学工作者对化合物半导体材料也开始了大量的探索工作。

磷化铟(InP)作为一种新型半绝缘晶片,它的出现对于改善和提高InP基微电子器件的性能具有重要的意义。这种通过高温退火工艺所制备的半绝缘晶片既保持了传统原生掺铁衬底的高阻特性,同时铁浓度大幅降低,电学性质、均匀性和一致性显著提高。目前半绝缘类型InP衬底的生产质量亟待改善和提高。

原生半绝缘InP是通过在单晶生长过程中掺入铁原子来制备的。为了达到半绝缘化的目的,铁原子的掺杂浓度较高,高浓度的铁很可能会随着外延及器件工艺过程发生扩散。而且由于铁在磷化铟中的分凝系数很小,InP单晶锭沿生长轴方向表现出明显的掺杂梯度,顶部和底部的铁浓度相差一个数量级以上,由其切割成的单晶片的一致性和均匀性就很难保证。就切割成的单个InP晶片而言,由于受生长时的固液界面的影响,铁原子从晶片中心向外呈同心圆状分布,这显然也不能满足一些器件应用的需要。所有这些因素是目前制约半绝缘磷化铟单晶片生产质量的最大障碍。

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