（1）起步阶段：1960s~1970s，行业成立初期，在仙童半导体的主导下得以发展。ATE 行业最早产生于 1960s，龙头企业泰瑞达便是成立于 1960 年，但行业最开始的发展并不是由这些独立的设备商引导，而是由半导体企业主导的。ATE 最开始就是由仙童半导体、德州仪器等企业生产用于内部使用，在 70 年代末之前，仙童半导体掌握着全球范围 70%的 ATE 市场。
（2）发展初期：1980s，ATE 市场开始成为广泛的市场，独立的设备商崭露头角。随着 CMOS 技术开始起步，高管脚数门阵列器件的时代到来，测试要求提升，但仙童半导体在开发新的 ATE 系统上却遭遇失败，随后将其 ATE 部门卖给斯伦贝谢。而在这一段时间，日本爱德万在日本大力发展本国半导体产业的背景下得到迅速发展，泰瑞达从模拟测试供应商成长为数字测试和存储测试供应商，另外还包括 GanRad、LTX、Agilent（安捷伦）等众多 ATE 公司出现，ATE 发展成为广泛的市场。
（3）规模阶段：1990s，主要的 ATE 设备商开始形成规模，并开始出现合并行为。根据 WSTS 数据，1991 年全球半导体销售额仅 546 亿美元，到 2000 年增长至 2044 亿美元，增长 274.%。随着下游半导体行业的迅速发展，设备商也得以规模成长，同时行业开始出现并购活动，行业主要参与者开始显现，到 90 年代末期，行业内主要的 10 多家企业形成了行业竞争格局。
（4）聚焦阶段：2000s，行业出现大规模整合，主要竞争者减少至 5 家左右。2008 年泰瑞达 250 百万美元收购 Eagle 拓展闪存测试、379 百万美元收购 Nextest 加强模拟测试业务；2004 年科利登以 660 百万美元收购 NPTest（2002 年从 Schlumberger 的 ATE 部门分离出来），进入高端 SOC 测试领域，2008 年 LTX 收购科利登，改名为 LTX-Credence；2011 年爱德万以 1100 百万美元收购惠睿捷，使得其在 SOC 测试市场份额得以迅速发展。全球 ATE 行业持续聚焦，到 2009 年泰瑞达、爱德万、惠睿捷、科利登四家企业占据全球 ATE 设备行业 87%的市场份额。