使用Agilent N5250A PNA系列毫米波网络分析仪(带有140至220GHz(N5260AW05)测试探头模块)进行测量,采用Cascade Microtech公司的Summit系列12K探针台可进行晶圆测量。(图2显示了系统的110-GHz版本)。全部双端口晶圆校准使用Cascade Microtech的WinCal 2006校准软件进行,执行顺序为直通、反射、反射、匹配(LRRM)。

使用Agilent PNA-X网络分析仪实现毫米波的测量

通过添加调制器(Agilent Z5623AH81)和双路输出脉冲发生器(Agilent 81110A),同一台设备就改造成了用于脉冲测量的解决方案。图3显示了W频段75至110 GHz 简单直通设备的脉冲仿形测量。用于这些测量的脉冲设置如下:

射频脉冲宽度(PW):2μs(50%占空比);脉冲宽度(PW)可减至20 ns

B接收机选通脉冲宽度:20 ns(0.5%占空比)

测量频率:100 GHz

脉冲形状是一个非常有用的分析工具,因为它可显示由被测件(DUT)引起的任何脉冲失真。它是通过在输入端使用脉冲信号激励被测件,然后在输出端折回信号以确定脉冲形状的改变来完成。所有的这些改变都意味着被测件(DUT)非理想(例如,非线性)的行为。

要修改系统以覆盖不同的毫米波频带就像更换测试探头模块一样容易。例如,用N5260AW03代替N5260AW05(140至220 GHz)模块,就可将频带从220变换到325 GHz。通过添加两个外部频率综合信号源(例如,Agilent PSG信号发生器),就可在200 GHz以上轻松将系统的动态范围或迹线噪声提高。每个频率综合信号源都配置有520选件以满足20 GHz频率范围;一个提供射频信号,另一个提供本地振荡器(LO)。

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