配置 Clarius+ 软件进行飞法测量
在Clarius软件中设置测量时，需要在 Library 中选择飞法项目，配置测试设置，执行测量。
在 Library 中选择飞法 - 电容项目。Clarius软件Projects Library 中包括一个进行超低电容测量的项目。从 Select 视图中，在搜索条中输入 “femtofarad”（ 飞法 ）。窗口中将出现 femtofarad-capacitance（ 飞法 - 电容 ） 项目，选择Create，在项目树中打开项目。
配置测试设置。一旦创建了项目， 项目树中会出现 femtofarad-capacitance（飞法 - 电容）项目。这个项目有两项测试：（1）cap-measure-uncompensated 测试，这项测试用来测量DUT的电 容；（2）open-meas 测试，这项测试用来获得线缆和连接的电容。由于这些电容测量的灵敏度，我们使用与DUT测量完全相同的设置，来进行开路测量。然后从DUT 的电容测量中减去开路测量。这种方法在超低 电容测量中可以实现非常好的效果。
为成功地进行低电容测量，一定要在 Configure 视图窗口中相应地调节测量和定时设置。为进行最优调节， 部分建议如下：
测量设置：用户可以控制的部分设置是电流测量范围、AC驱动电压和测试频率。这对测量非常重要，因为确定器件电容的公式中涉及到这些项目。CVU从 Iac、Vac和测试频率中计算器件电容，公式如下：
观察公式中的关系，可以推导出最优的设置， 包括电流测量范围、AC 驱动电压和测试频率。CVU 有三个电流测量范围：1mA、30mA 和 1mA。对噪声最低的最低电容测量，应使用最低的电流范围：1mA 范围。
AC 驱动电压可能会影响测量的信噪比。AC 噪声电平保持相对恒定，使用更高的 AC 驱动电压则会生成更大的AC电流，从而改善信噪比。因此，最好使用尽可能高的 AC 驱动电压。在这个项目中，我们使用了1 VAC 驱动电压。