4、智能传感器和多功能传感器的应用
智能传感器最早应用在航天领域。宇宙飞船中需要测量大量参数，有反映运行轨道的速度、加速度、姿态、方位等参数，有反映宇航员生存环境的温度、湿度、气压、空气成分等参数，因此需要大量的传感器。这些大量的原始数据若直接送到计算机中，无疑会增加主计算机的负担，影响处理速度。为了提高效率和可靠性，采用分布处理的方法，即将这些数据先经过各自的处理系统进行预处理，然后再传送至主机进行集中处理。这就是在美国宇航局开发宇宙飞船时所开发的智能传感器。由于智能传感器和多功能传感器的功能强，集成度高，体积小，因此可以大大减少传感器的数量和连接电缆线的重量，这恰是导弹、卫星、宇宙飞船等飞行器所需要的，所以它们在航空航天领域中起着非常重要的作用。
在工业生产中，随着生产过程自动化的发展，采集的数据越来越多，需要使用大量传感器和计算机。特别是需要智能传感器。
智能传感器和多功能传感器在机器人中有广阔的应用前景。如视觉传感器、触觉传感器、力觉传感器、接近觉传感器等。特别是智能机器人，需要根据采集的信息进行识别、判断、决策。智能传感器如同人的五官，可以使机器人具有感知功能。现在一些国家在研究开发可以识别物体形状的触觉传感器，分辨不同气体的嗅觉传感器。
随着智能传感器和多功能传感器的发展，它们将在工业、科技、国防等各个部门得到更广泛的应用。
5、现状与发展
目前，世界各国都在研制与开发各种智能传感器和多功能传感器。其中最成功的是美国Honeywell 公司研制的DSTJ - 3000 智能压差压力传感器在同一块半导体基片上用离子注入法配置扩散了压差、静压和温度三个敏感元件，整个传感器还包括变换器、多路转换器、脉冲调制、微处理器和数字量输出接口等。另外还在PROM 中装有该传感器的特性数据，以实现非线性补偿。Par Scientific 公司研制1000 系列数字式石英智能传感的器。日本日立研究所研制出可以识别四种气体嗅觉传感器。智能传感器是测量技术、半导体技术、计算技术、信息处理技术、微电子学、材料科学互相结合的综合密集型技术。目前各国科学家正在按下列技术途径开发研究：
（1） 利用新型材料研制基本传感器。基本传感器是智能传感器的基础，它的制作及其性能对整个智能传感器影响甚大。除硅材料具有优良的物理特性，能够方便地制成各种集成传感器。此外还有功能陶瓷、石英、记忆合金等都是制作传感器的优质材料。
（2） 利用新的加工技术。近年来利用微加工技术日趋成熟，可以加工高性能的微结构传感器、ASIC 制作技术，也可用于制造智能传感器。