中国半导体制造设备企业
2016年中国半导体设备销售收入总计57.33亿元，同比增长21.5%，其中前十强单位完成销售收入47.7亿元，同比增长28.5%，也就是说，前十强的增速快于整体增速，市场集中度在不断提高，可喜可贺。
2016全国半导体设备十强 数据来源：中国半导体产业协会
从图中可以看到，国内的设备公司在前道制造中有一席之地有：中电科、北方华创、中微半导体、上海微电子。下面就来介绍这几家公司：
1. 中电科电子装备公司
中电科电子装备集团有限公司是在中国电子科技集团公司2所、45所、48所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团公司独资公司，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。已形成以离子注入机、电化学沉积设备等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，可服务于材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。
中电科装备公司主营业务是光伏。不过在中电科电子的不断努力下，公司在离子注入机和CMP（化学机械抛光机）两个领域实现了重大突破。
承担02专项后，电科装备在离子注入机方面的研发可谓是一年迈一个台阶。在14年通过02专项的验收后，其离子注入机即在中芯国际投入使用。
2015年，电科装备12英寸中束流离子注入机在中芯国际先后完成了55nm、45nm和40nm小批量产品工艺验证，并开始批量生产，逐步提升产能，增加验证机台的数量。同年，中束流设备实现了批量销售，量产晶圆超过300万片。
2016年，用于45nm~22nm低能大束流离子注入机与中束流离子注入机通过了28nm工艺制程同步验证，已经实现销售。
2017年，电科装备离子注入机批量制造条件厂房及工艺实验室已投入使用，重点打造离子注入机零部件检测、模块装配及局部成套三大平台，可实现10台设备同时组装调试，具备年产20台以上的批量制造能力，具备集成电路装备系统集成能力及局部成套工艺生产能力。
在CMP抛光机方面，中电科装备也有了新的突破。2017年8月，电科装备成功研发出了国内首台拥有完全自主知识产权的200mm化学机械抛光商用机，研发团队在3年的时间里突破了10余项关键技术，完成技术改进50余项，经过3个批次近10000片的马拉松测试，性能指标获得中芯国际工程师的好评，并于2017年11月21日成功在中芯国际天津厂8英寸大生产线装机验证，已经进入24小时生产阶段。