实际上，根据北方华创2017年披露的2016年年报，其自研的12英寸清洗机到2016年底的累计流片量已突破60万片，收购Akrion之后，北方华创的实力进一步加强。
3. 中微半导体
中微半导体是尹志尧创办，他之前是全球最大的半导体生产设备商应用材料公司的副总裁，回国创办中微。
中微的产品，主要是三大领域，一个是LED芯片的MOCVD机台，这个是LED芯片制造的核心设备，以致于衡量芯片厂家的制造能力，都是用它有多少MOCVD机台来衡量，机台数量越多的产能越大。国产MOCVD设备从2012年底研发成功，到2016年开始完成批量验证，目前处于迅速上升的态势。经过不断洗牌，中微半导体已占据领先地位，目前国产MOCVD市场份额已呈现增长局面。
中微半导体的另外一个领域，主要是其最早开始研发，具有多年经验的介质刻蚀机，这个目前是用在集成电路芯片制造上面，目前已经可以做到22nm及其以下，且中微半导体的14nm也在产线进行验证，同时在推进5nm的联合研究。
目前总体而言，中微处于比较好的发展态势，MOCVD机台已经经受住了量产的考验，将会迎来大批量出货时期，其多年来集中力量攻关的等离子体介质刻蚀机，已经在国际大厂部署多年，同时目前也开始进入最先进的5nm制程的预研。
4. 上海微电子公司
上海微电子装备（集团）股份有限公司是一家掌握了高端光刻机相关技术且具有高端投影光刻机生产能力的企业。于今年3月份，与全球领先的半导体设备企业ASML签署了战略合作备忘录。公司主要从事半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。旗下产品可应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
总结
目前，中国半导体设备已有了一定的基础，虽然设备总量不大，但一直并保持着高速增长的态势。但需要认清的是，目前我国的技术实力与国外相比仍存在较大的差距，尤其与市占率超80%的设备企业如ASML、应用材料等相比，实力偏弱且绝大部分设备厂商无法满足国际已经实现量产的制程，较难进入国际代工巨头的产线。
当然，在落后的局面下，我国半导体设备也在奋起直追，并取得了一定成绩，在国内产线上已经进行了一部分国产替代。半导体设备是我国发展半导体集成电路的基石，我们要把握好先行条件，率先推进，争取早日完成进口替代。
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