4.9.2、生产过程中停机、未连续生产同一型号的阻抗板达1小时或超过1小时以上需按4.9.1要求重做首板检测阻抗值确认OK后才能批量生产。
4.9.3、蚀刻工序生产时阻抗值控制在要求的中上限,例如:特性阻抗要求50 Ω±10%,阻抗值控制在50--55Ω之间;差分阻抗值要求90Ω±10%,阻抗值控制在90--99 Ω之间。(因绿油工序生产后特性阻抗会减少阻抗值2--4Ω,差分阻抗值会减少阻抗值3--8Ω)
4.9.4、蚀刻放板时需将有阻抗线控制那一面朝下放板,如两面都有阻抗线的板,阻抗线较多或线路较密的一面朝下放板生产。
4.9.5、如果在阻抗合格的情况下,线宽偏差太大,超出MI要求范围时则需通知ME及QA共同跟进处理。 4.9.6、经首板确认阻抗值、线宽OK后批量生产,批量生产时的参数需按确认OK首板的参数生产;生产过程中每生产50PNL送1PNL到物理室进行阻抗值测量,并作记录,如发现异常及时通知相关人员跟进处理。
4.9.7、每批阻抗板在蚀检工序检验时,蚀检QA按5%的比例抽板送物理室进行阻抗值测量,并作记录, 如发现异常及时通知相关人员跟进处理。
4.9.8、对于生产过程中或蚀检QA送板到物理室进行阻抗值测量,发现阻抗偏下线或超出最大上限时需进行全测,并作标识分开,注明阻抗值的情况,以便绿油工序生产时相对调整绿油厚度控制阻抗。
4.10 绿油:
4.10.1、正常阻抗板生产时按正常生产参数和流程生产。
4.10.2、对于蚀刻工序生产过程中检测外层阻抗偏下线或超出最大上限的板时需相对调整绿油厚度控制阻抗。但此板需先做1-2PNL首板检测阻抗,阻抗检测合格,按首板参数丝印绿油生产;阻抗检测不合格,需重新调整相关参数重做首板确认阻抗OK后才能生产。 (注:绿油厚度与阻抗值成反比)
4.11 其它:
上述4.1—4.10中未设计到的其它工序按本厂的相关要求正常生产控制。
5.0阻抗检测:
由工序送阻抗板到物理室,在泰克(DSA8200)阻抗测量仪进行阻抗检测。
6.0接受标准:
6.1阻抗值公差
6.1.1、阻抗值公差MI中有特别要求时,按MI要求控制。
6.1.2、当MI中阻抗值公差没有要求时,阻抗要求值50Ω以下,允许公差为±5Ω,阻抗要求值50Ω或50Ω以上,允许公差为±10%。
6.2外层阻抗
6.2.1、蚀刻特性阻抗可以比要求阻抗值最上限大4欧姆,超出4欧姆的打报废;蚀刻生产时一般要求控制在要求阻抗的中上限(因阻抗绿油生产后会减少阻抗值2--4Ω)。
6.2.2、蚀刻差分阻抗可以比要求阻抗值最上限大8欧姆,超出8欧姆的打报废;蚀刻生产时一般要求控制在要求阻抗的中上限(因阻抗绿油生产后会减少阻抗值3--8Ω)。