1.结构

半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器组成:

压力转换元(硅膜片)和混合集成电路组成。(电路把转换元件输出信号进行放大)

半导体压敏电阻式结构与原理

半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器

硅膜片,四个应变电阻,真空室,集成电路。

2.原理:

利用半导体压阻效应原理,使用硅膜片,把硅膜片的一面抽成真空,另一面导入进气歧管的气体压力。硅膜片受到的压力不同产生的电阻就不同,把它与惠灵顿电桥相连,就可以把电阻信号转变成电压信号输出。

a.压敏电阻式结构:

半导体压敏电阻式结构与原理

半导体压敏电阻式结构与原理

半导体压敏电阻式结构与原理

压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器工作原理:

进气压力(上升),  膜片变形(变大),  应变电阻(变大),  输出信号电压(变大)。

b.压阻式信号特征:

半导体压敏电阻式结构与原理

半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器尺寸小,精度高、响应性好,又由于其生产成本较低,所以得到了广泛的应用。

如丰田、通用、克莱斯勒公司生产的很多款汽车均采用此种传感器,国内桑塔纳2000GLi型轿车也使用了此种传感器。

进气歧管绝对压力传感器故障分析同空气流量传感器

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