“今天,只有极少的RF SOI器件采用300mm晶圆,”Ng说。“这种情况的出现有很多原因,包括300mm RF SOI衬底的成本/可用性,以及支持后硅处理的基础设施等因素。但是我们预计在未来几年内,这些挑战将会在很大程度上得到解决,然后大部分大批量的RF SOI应用将会迁移到300mm晶圆上。”在此之前,行业可能会面临300mm的供需问题。“我们认为,在更多的生产迁移到300mm晶圆之前,市场将一直面临供不应求的挑战。产能上马有多快,需求有多大,都将反映在供需矛盾上。”他说。

Global Foundries希望在5G竞赛中脱颖而出,最近为5G应用推出了45nm RF SOI工艺。该工艺利用了高电阻阱富集的SOI衬底。

5G是4G网络的升级。LTE网络频段介于700 MHz到3.5GHz之间。而即将到来的5G不仅需要在LTE频段存在,而且还将在10 GHz至100 GHz之间的毫米波段内运行。5G将数据传输速率提高到10Gbps以上,即LTE的100倍。但5G的大规模部署预计得到2020年及以后了。

无论如何,5G需要一个新的器件工艺。“(45nm RF SOI)主要是为了满足5G毫米波前端的应用,需要集成了PA、LNA、开关、移相器,以实现5G的主要功能:波速赋形 beam forming”GlobalFoundries的Rabbeni说。

当然5G射频前端还有其它的解决方案,RF MEMS就是其中一种可能。其他的潜在工艺还包括比如说,Tower Jazz和加利福尼亚大学圣地亚哥分校最近展示了一个12Gbps的5G相控阵芯片。该芯片组采用了Tower Jazz的SiGe BiCMOS技术。

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