图7. 从CVU正确连接到DUT
图7是DUT 4线传感实例。在本例中,HCUR和HPOT端子连接到器件的一端,LPOT和LCUR端子连接到器件的另一端。为了改善带宽,我们把同轴电缆的外部屏蔽层连接到金属测试夹具上。我们使用到器件的4线连接,通过尽可能靠近器件传感电压,来简化灵敏的测量。
四条同轴电缆每条电缆的外部屏蔽层必须尽可能近地连接到器件上,以使屏蔽层的环路面积达到最小。同轴电缆的外部屏蔽层还应连接到金属测试夹具上,以降低来自外部源的噪声和耦合。这降低了电感,有助于降低谐振效应,这种效应在1MHz以上的频率时可能会带来负担。
图8. 连接两个控制装置公共部分的接地跳线
图8是连接两个探头电缆组件公共部分的跳线。吉时利仪器公司拥有一系列4210-MMPC多测量电缆套件,适用于各种探头,可以实现各种控制装置的常用连接。
使用4200A-CVIV多通道开关保护器件端子
可以使用选配的4200A-CVIV多通道开关,自动进行有保护的C-V测量,如图9所示。通过CVIV,用户可以自动在器件的I-V(SMU)测量和C-V (CVU)测量之间切换,并把C-V保护装置连接到DUT的任意端子上。
图9. 4200A-CVIV多通道开关。