图4. 阻抗的矢量图
通过使用Clarius内置的Formulator工具，还可以从测得的数据中简便地提取其他参数，如电感。图4中的阻抗矢量图显示了阻抗的基础公式。
如图5所示，C-V测量系统可能会相当复杂，因为配置中包括测量仪器和软件、信号路径线蓝、测试夹具和器件。为进行最优测量，必需相应设置CVU的测试设置和定时参数。必须使用适当的线缆、探头和测试夹具，然后必须执行连接补偿。最后，器件本身可能会导致测量问题。接下来将讨论进行良好的电容测量需要考虑的硬件和软件。
图5. C-V测量系统
适当的线缆
为获得最好的测量结果，应只使用随机自带的红色SMA电缆连接到CVU。随机自带的附件如下：4条CA-447A SMA到SMA 1.5米电缆（红色）、4条CS-1247 SMA到BNC转接头、2条CS-701A BNC T形装置、1个扭矩扳手（用来紧固SMA电缆连接）。
图6. 2线传感的CVU连接图
随机自带的附件可以通过BNC或SMA连接，来连接测试夹具或探头。图6显示了CVU以及为2线传感配置的随机自带的附件。CS-1247 SMA到BNC转接头连接到每条CA-447A SMA到SMA电缆。HCUR和HPOT端子通过CS-701A BNC T形装置连接，构成CVH；LCUR和LPOT连接在一起，构成CVL。使用随机自带的扭矩扳手，紧固SMA电缆连接，确保接触良好。红色SMA电缆为100 Ω。并联的两条100 Ω电缆是50 Ω，这是高频源测量应用的标准配置。