集成电路产业不仅覆盖设计、制造、封测上下产业链，还有 EDA 软件、设备和材料等产业。近几年，各地此起彼伏的“造芯热”也离不开半导体设备。如果没有光刻机、刻蚀机等生产设备，芯片生产根本无法开展。
目前 ASML 最先进的 EUV 光刻机投入三星、台积电的 7 纳米工艺，但国内最好的上海微电子光刻机还停留在 90 纳米量产水平。
在检测、清洗、硅片制备等领域，国产设备已具备一定替代实力。例如长川科技（300604.SZ）的检测设备，晶盛机电（300316.SZ）的单晶炉，至纯科技（603690.SH）的高纯工艺系统和清洗设备。
中微公司（688012.SH）和北方华创（002371.SZ）是国产半导体设备的领军企业。中微公司被认为是 2019 年科创板最强芯片股，主要专注于研发等离子体刻蚀设备和 MOCVD（化学气相沉积）设备。中微已成功开发 7 纳米介质刻蚀机，是唯一打入台积电 7 纳米制程的国产设备商。
北方华创立足泛半导体产业，聚焦集成电路、光伏、面板、LED 等细分领域，半导体装备包括刻蚀设备、沉积设备（PVD/CVD/ALD）、氧化炉和清洗设备等产品，是国内主流半导体设备供应商。北方华创不仅通过承担多项 02 科技专项在 28 纳米形成批量供货能力，14 纳米工艺设备也处于客户工艺验证阶段。
受存储器投资复苏和在中国大陆新建及扩建工厂，国际半导体行业协会（SEMI）预计，2020 年半导体制造设备的全球销售额为 588 亿美元，比 2019 年增长 12%，中国大陆将成为半导体制造设备的最大市场。
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