今天小编要和大家分享的是RF,无线相关信息,接下来我将从射频微等离子体的特点分析,正反物质的完美混合等离子体这几个方面来介绍。

RF,无线相关技术文章射频微等离子体的特点分析正反物质的完美混合等离子体

RF,无线相关技术文章射频微等离子体的特点分析

在之前的文章中,对射频大气压辉光放电已经有所介绍,那么,如果在射频放电中,将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内,即为1mm左右,乃至到了几百微米的量级,射频微等离子体又会出现哪一些新的特点呢?接下来我们与大家共同探讨。

如下图所示,是在相同的电流下,射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2,当放电间隙逐渐增加,实验与计算均表明鞘层开始逐渐增加,而当极板间隙增加超过500μm后,鞘层厚度几乎保持在215μm不变。而对于等离子体区的厚度,其从100μm到900μm一直在单调增加。

射频微等离子体的特点分析

通过上图我们可知,当放电间隙小于500μm时,放电等离子体由传统的辉光放电结构转化为一种鞘层主导的结构,即鞘层成为放电空间的主要部分。同时,数值模拟还表明,在鞘层主导的放电结构中,整个放电空间失去了电中性,呈现为电正性,如下图所示。

射频微等离子体的特点分析

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