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MEMS,传感技术相关技术文章石英晶振与MEMS晶振两者的区别对比
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：
石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。
全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及制造校准；MEMS硅晶振作为振荡源，需要PLL电路去校准频率制造公差和温度系数。
MEMS振荡器更适合高振动环境，非关键定时应用以及信号噪声比不重要的应用。像高速通信，复杂调制方案，出色的信噪比之类的应用，KOAN晶体振荡器将优于MEMS振荡器。石英材质拥有低抖动，极高的Q值，以及出色的时间和温度稳定性。下面我们将对比6个晶体振荡器和MEMS振荡器的6个参数。每个参数都是通信，工业，和消费领域的关键参数。
1. 温度稳定性
我们选取了同样频率的石英振荡器和MEMS振荡器从-40°C到+85°C，以一分钟增加2°C的速率进行对比频率温度稳定性的试验。石英晶体振荡器的频率与温度遵循 AT 切晶体的连续立方曲线，从 -40 到 +85°C 达到 ±15ppm。MEMS振荡器的频率与温度特性似乎优于晶体振荡器。然而， 随着温度的上升，MEMS振荡器的锁向电路以离散步骤调整频率，频率温度曲线图呈锯齿状曲线。
此现象表明当温度上升，MEMS振荡器切换到温度补偿，导致频率跳跃，不稳定。在温度补偿方面，石英晶体振荡器中TCXO使用了模拟温度补偿和简单的温度补偿电路来实现从-40到+85°C，温度偏差在±1ppm以内，并且频率不会跳跃。TCXO最低的温度偏差可达到0.1ppm。
试验结果表明：KOAN石英振荡器的温度稳定性优于MEMS振荡器。
2. 相位噪声/抖动特性
我们选取了同样频率的石英振荡器和MEMS振荡器进行对比。
