气体质量流量传感器 － FS1015是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
FS1015系列微机电气体质量流量传感器技术参数：
美国Siargo 质量流量传感器模块 － FS6122系列是专为急救呼吸机和家用呼吸机等呼吸回路而设计的流量传感器。产品有不同的流量范围，适用于婴儿与成人应用。 产品的机械接口为ISO － 22mm ，入气口与出气口采用不同的设计，防错性强，同时也将死区减小到最小。硅翔微机电系统有限公司专有的MEMS技术，使得在保证了产品可靠性和性能的同时，价格也非常低。
质量流量传感器模块FS6122系列流量信号：
关于MEMS,传感技术就介绍完了，您有什么想法可以联系小编。