1．传动间隙补偿
提高机床传动元件的齿轮、丝杠制造装配精度并采取消除传动间隙的措施，只能减少却不能完全消除传动间隙。
机械传动链在改变运动或旋转方向时，最初若干个指令脉冲只能起到消除间隙的作用，造成步进电机的空走，而工作台无实际移动，从而产生传动误差。
补偿方法：先测出并存储间隙大小，接收反向位移指令时，先不向步进电机输出反向位移脉冲，而将间隙值转换为脉冲数N，驱动步进电机转动，越过传动间隙，然后按照指令脉冲动作。
2. 螺距误差补偿
传动链中滚珠丝杠螺距的制造误差直接影响机床工作台的位移精度。
补偿方法：设置若干个补偿点，在每个补偿点测量并记录工作台位移误差，确定补偿值并作为控制参数输送给数控装置。
设备运行时，工作台每经过一个补偿点，CNC系统就加入补偿量，补偿螺距误差。
3. 细分线路
细分驱动：将步进电机的一个步距角细分为若干步的驱动方法。